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多功能薄膜沉積設備(SPE)

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多功能薄膜沉積設備(SPE)

  技術特點 Features  

· 將真空蒸鍍、反應式等離子鍍膜、磁控濺射三大鍍膜模塊整合成一體,三種鍍膜技術可同時獨立運行,實驗開機率媲美三臺設備,產能高。

· 實現(xiàn)蒸鍍、RPD、PVD 真空連鍍工藝,提供多種組合鍍膜,落實疊層鈣鈦礦層工藝一步到位,有利于膜層界面優(yōu)化、減少裝卸、傳輸損傷,有利于量產設備的提效降本。

· 采用與量產工藝統(tǒng)一的移動鍍膜模式,提高未來擴產成功率、減少大尺寸量產風險。

· 自主程序設計、人性化操作界面;多層級權限設定,信息保密;嚴謹完善的安全設計,防呆功能周密;綠色環(huán)保、節(jié)能設計 。