技術特點  Features  

· 產能：400片/批，9600片/小時（210硅片）,480片/批，12000片/小時（182硅片）。

· 支持多種添加劑技術。

· 支持最薄120μm硅片。

· 潔凈區(qū)域干燥，自潔凈系統(tǒng)。

· 快速換液，在線換液。

· 支持MES、RFID及選配在線稱重功能。