技術特點  Features  

· 產(chǎn)能：600片/批，14400片/小時（210 硅片）；720片/批，17280片/小時（182硅片）。

· 工藝槽循環(huán)量可調(diào)。

· 制絨金字塔均勻，刻蝕深度可調(diào)。

· 支持最薄120μm 硅片。

· 潔凈干燥區(qū)域，自潔凈干燥系統(tǒng)。

· 低H₂O₂ 消耗。

· 快速換液，在線換液。

· 支持MES、RFID 及選配在線稱重功能。